---

АНОТАЦІЯ

Актуальність теми

Автоматизація виробництва, а особливо складних та небезпечних технологічних процесів, вимагає засобів, що дозволяють отримувати інформацію про параметри цих процесів. Системи контролю забезпечують безпеку, економічність та екологічність операцій. Технічні параметри традиційних сенсорів фізичних величин (резистивних, ємнісних, механотронних, гальваномагнітних, електромагнітних, фотоелектричних (оптоелектронних), акустооптичних та інші.) практично досягли своїх граничних можливостей. Подальше удосконалення сенсорів фізичних величин можливо шляхом створення первинних перетворювачів на основі нових фізичних явищ.

Сьогодні на основі досягнень акустоелектроніки сформувався новий напрямок у вимірюванні фізичних величин - сенсори на поверхневих акустичних хвилях (ПАХ). Застосування ПАХ обумовлене можливістю отримання хвильових процесів з малою довжиною хвилі, що забезпечує, при використанні частотного або фазового методів вимірювання, велику чутливість. В сучасних інформаційно-вимірювальних системах все більшого поширення набувають також безпровідні сенсори на ПАХ. Робота цих сенсорів базується на розробці та впровадженні технології радіосистем в поєднанні її з традиційними конструкціями сенсорів на ПАХ.

Акустоелектронні сенсори на поверхневих акустичних хвилях дозволяють вирішувати різноманітні завдання та використовуються в: системах вимірювання механічних параметрів (переміщення, швидкість та прискорення, сила та тиск, вага, момент, деформація і т.д.), теплових пристроях (термосенсори, сенсори витрат, вакууму, електромагнітних параметрів, теплових потоків), наявності шкідливих та отруйних речовин, концентрацій газів, вологості, мікромас. Такі сенсори мають цілий ряд переваг. По – перше, роздільна здатність та точність цих пристроїв у багатьох випадках перевершують сенсори, що побудовані на інших фізичних принципах. По-друге, сенсори на ПАХ мають планарну структуру, а отже потенційно придатні для масового виробництва з використанням єдиної технології для чутливого елементу та електроніки (MEMS–мікроелектромеханічні технології). Використання саме такої технології, дозволяє значно покращити тактико–технічні параметри пристрою та зменшити кінцеву вартість продукції. По–третє, сенсори на ПАХ мають малі габарити та вагу, що пояснюється тим, що оскільки швидкість поширення ПАХ складає біля 3000 м/с, то довжина поверхневої акустичної хвилі в 105 разів менша за довжину електромагнітної хвилі при однаковій частоті. По–четверте, сенсори на ПАХ вирізняються високою надійністю та відтворюваністю параметрів. Оскільки центральна частота та форма амплітудно-частотної характеристики (АЧХ) визначаються лише топологією зустрічно-штирових перетворювачів, пристрої на ПАХ не потребують складного налаштування в апаратурі.

Метою дисертаційної роботи є розробка безпровідного сенсору фізичних величин на поверхневих акустичних хвилях.

Для досягнення поставленої мети вирішені наступні задачі:

• аналіз існуючих сенсорів, що можуть слугувати аналогами для подальшої розробки

• розробка структурної схеми автогенераторного сенсора фізичних величин на ПАХ;

• розробка та моделювання чутливого елементу сенсора на ПАХ;

• моделювання автогенераторного сенсора фізичних величин на ПАХ;

• комп’ютерне моделювання складових вузлів сенсора фізичних величин на ПАХ;

• розробка методики експериментального дослідження складових вузлів сенсора;

• розробка експериментального макету сенсора фізичних величин на ПАХ;

• проведення випробувань сенсора;

• оптимізація конструктичвних та електричних параметрів сенсора по результатах випробувань;

• проведення випробувань сенсора з оптимізованими параметрами.

---

АНОТАЦІЯ

Актуальність тематики наукової роботи обумовлена ускладненням архітектури та все більш широким застосуванням локальних обчислювальних мереж в технологічних виробничих процесах, що обумовлює значне підвищення вимог до надійності обчислювальних мереж і забезпечення їх безперебійної роботи.

Метою наукової роботи є розробка методу побудови локальних обчислювальних мереж, що забезпечує високу надійність та продуктивність їх роботи в реальних умовах експлуатації, з урахуванням специфіки їх використання в системах реєстрації, обробки та збереження графічної та відео інформації.

Для досягнення мети вирішуються наступні задачі: аналіз сучасних принципів та архітектури побудови локальних обчислювальних мереж та виділення їх переваг і недоліків , проведення дослідження та розробка класифікації факторів, що негативно впливають на надійність та відмовостійкість роботи локальних мереж, розробка методу підвищення надійності розгалуженої обчислювальної мережі, що полягає в суміщенні технологій агрегації каналів зв’язку та кластеризації мережевих комутаторів, коригування параметрів розробленого методу з урахуванням специфіки роботи обчислювальних мереж в системах реєстрації, обробки та збереження графічної інформації, розробка математичної моделі надійності розгалуженої інформаційної мережі, проведення випробувань надійності інформаційної мережі при використанні розробленого методу, удосконалення структури розгалуженої інформаційної мережі відповідно результатам випробувань.

Методи вирішення поставлених задач: методи математичного моделювання архітектури локальних обчислювальних мереж із врахуванням реальних умов їх експлуатації, експериментальні дослідження роботи локальних обчислювальних мереж.

---

АНОТАЦІЯ

Важливою складовою технологічних процесів виробництва електронних приладів є нанесення тонких шарів матеріалів на підкладки, тому питанням створення устаткування для виконання цих операцій приділяється велика увага. В промисловості використовуються різноманітні пристрої для фізичного осадження з атомних/молекулярних/парових потоків. Існуючі пристроїв не завжди відповідають вимогам щодо мінімізації впровадження в осаджуваний шар чужорідних атомів робочих газів або мікрочастинок (мікрокрапель) і з усуненням радіаційного високоенергетичного впливу на оброблюваний виріб. Багато проблем можуть бути вирішені при реалізації процесів створення, підготовки та нанесення матеріалів за допомогою пристроїв з індукційною концентрацією енергії в межах робочої області.

Мета: Метою роботи є конструювання та моделювання пристроїв з індукційною концентрацією енергії для керування технологічними приладами та пристроями.

Задачі:

1. Розробити математичну модель передавання ВЧ енергії з індуктора в середовище керування.

2. Розробити математичну модель нагрівання речовини, яка випаровується з тигля.

3. Розробити математичну модель переносу речовини, яка випаровується з тигля, до підкладки з урахуванням 3D геометрії системи.

4. Дослідити індукційний випарник з використанням розроблених моделей.

5. Розробити та дослідити вдосконалені конструкції індукційних випарників для отримання потоків пари металів без його іонізації і з іонізацією шляхом фізико-топологічного моделювання. Визначити систему їх параметрів.

6. Дослідити траєкторії електронів в робочому середовищі керування

---

АНОТАЦІЯ

У дисертації буде представлено стан розробок НВЧ генераторів плазми, буде показано перспективи їх використання для обробки поверхні твердого тіла. Будуть приведені результати дослідження фізико-математичної моделі хвилеводно-резонаторного тракту НВЧ генератора плазми і показані результати тривимірного розрахунку узгодженого режиму роботи приладу при заданих геометричних розмірах. Будуть приведені результати моделювання джерела швидких нейтралів та розрахунку інтегральних коефіцієнтів відбиття частинок та енергії для різних типів іонів і мішеней, отримані дані по розподілу енергії зворотно розсіяних атомів від різних типів мішеней. На основі результатів моделювання буде розроблена конструкція НВЧ генератора плазми та створено складальне креслення приладу.

---

АНОТАЦІЯ

---------------------ТЕКСТ АНОТАЦІЇ------------------------